1、半导体板块，ETF代码是512480； 其中包含：芯片概念（39只）、集成电路（17只）、半导体（64只）
2、国家大基金持股板块，ETF代码是512000 目前一共有五只基金，规模不到200亿，占A股流通市值比例较小，整体波动性较大；其中前三大重仓行业分别是电子、信息技术和通信，合计占比达到90%以上；前十大持仓个股均为市值较高的标的，合计占比高达70%；所以这部分对标的选股能力要求较高，且选股标准较为单一，业绩好的公司才能获得资金的青睐。
3、光刻胶/设备板块 ETF代码是159813 目前规模3.4亿元，属于新兴题材，比较小众，跟踪的是中证全指半导体材料与设备指数。前十大权重股分别为：扬杰科技、捷捷微电、国瓷材料和隆基股份等，基本涵盖了当前半导体产业链上下游的主要个股。
肖媛彤优质答主28nm，13.5nm EUV的厂商 光刻是IC制造最基础的工艺之一，而EUV是未来集成电路最先进的光刻技术方向（目前全球只有ASML能生产）。这些公司都是未来IC制造产业的核心。 光刻是IC制造的基石。没有光刻设备就生产不了IC，IC就是信息时代的石油。
因为光刻是IC制造中最基本的流程，所以国内IC制造的大部分企业都是有光科技公司的，比如上海微电子装备有限公司，武汉敏芯半导体股份有限公司，北京中科信创科技有限公司等等。 因为现在EUV的技术还不是很成熟，只能做到28nm制程。但是到6月份就有机会突破这个壁垒，在EUV上实现3nm制程。因此很多券商也看好相关产业链。其中，光刻设备(LEL)相关的有 中微电子 (002371)、北方华创、晶瑞股份和雅克科技等； IC产业 (SOC/CPU/GPU)相关的有兆芯和龙讯 等。
